干式无油螺杆真空泵

　　螺杆真空泵是油封式真空泵的更新换代产品，适用于能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。

　　干式螺杆真空泵，技术含量非常高的科技产品，是利用一对旋向相反的螺杆转子，在泵壳中作同步高速啮合旋转运动，产生吸气和排气作用的抽气设备。两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油。采用免维护设计技术解决了真空泵维护麻烦和费用高的问题。真空泵工作腔内无需润滑油和密封液，可回收各类可凝性气体，解决了蒸汽喷射泵、滑阀泵、旋片泵、液环泵等可能对真空系统造成的污染和对环境造成的污染问题，同时回收物还能创造附加经济效益。具有极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。主要应用于高纯净的真空工艺过程 , 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。

干式无油螺杆真空泵的应用领域

1. 半导体与电子工业（对无油要求极高）
蚀刻、沉积、扩散：用于等离子体蚀刻（ICP/CCP）、PECVD、ALD等工艺腔体抽空，避免油蒸汽污染晶圆。

离子注入：提供高洁净真空，防止碳氢化合物分解污染注入系统。

光刻：电子束光刻机、极紫外（EUV）光刻的真空环境。

液晶面板（LCD/OLED）：阵列、成盒、蒸镀工序的洁净真空。

太阳能光伏：硅基或薄膜太阳能电池（如CIGS、CdTe）镀膜线的前级/主泵。

2. 化学与制药工业（溶剂回收、耐腐蚀）
真空蒸馏/精馏：溶剂、中间体、热敏物料的常/减压蒸馏，无油避免产物污染，且可回收有机溶剂（泵出口冷凝回收）。

真空干燥：反应釜干燥、双锥回转真空干燥机、带式干燥机，尤其适用于含溶剂物料（如API、中间体）。

真空浓缩：药液、天然提取物的低温浓缩，防止高温破坏有效成分。

脱气/脱泡：聚合物熔体、树脂、涂料、胶粘剂的脱气处理。

尾气处理（VOCs）：化学工艺排放的可凝性有机废气（如苯、甲苯、丙酮、乙醇）的回收或燃烧前增压。

3. 食品与生物工业
冷冻干燥（冻干）：用于原料药、保健品、食品（咖啡、益生菌、蔬菜）的冻干机。螺杆泵能处理大量水蒸气且不污染产品。

真空包装：大型连续式真空包装机（如肉类、海鲜、奶酪），要求高抽速和洁净度。

真空冷却：熟食、烘焙食品、蔬菜的快速真空预冷，泵能耐受水分和油脂。

4. 薄膜与新材料制备
真空镀膜：大面积光学镀膜（AR、ITO）、装饰镀膜（PVD）、功能膜（硬质涂层）的真空系统主泵，保证膜层纯净无油斑。

原子层沉积（ALD）：对无油和极限真空要求极其严苛。

锂电/新能源：锂电池隔膜、电极涂布前的干燥抽空，以及电池注液前的真空获得。

5. 冶金与热处理
真空烧结/脱脂：粉末冶金（硬质合金、不锈钢零件）、MIM（金属注射成型）的脱脂烧结炉。

真空热处理：退火、钎焊、淬火炉，需要无油且能抽除水汽和分解的油脂废气。

真空熔炼：特种合金（钛、镍基）的感应熔炼中为分析室提供洁净真空。

6. 科研与加速器
粒子加速器：同步辐射、回旋加速器的超高真空前级泵。

等离子体物理：托卡马克、磁约束聚变装置的预抽。

空间环境模拟：大型空间模拟仓的粗抽与维持泵。

7. 电力与绝缘工业
变压器/电容器真空干燥浸渍：油浸式变压器、电力电容器的真空干燥和注油前处理。螺杆泵能高效抽出水分和溶剂。

真空断路器：气室抽空检漏。